等離子廢氣除臭凈化器低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過(guò)某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子中分離出來(lái)，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱(chēng)為電離氣體，如果外電場(chǎng)產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱(chēng)為氣體放電。

等離子廢氣除臭凈化器等離子體化學(xué)反應(yīng)是等離子體廢氣凈化器的核心技術(shù)，利用等離子體化學(xué)反應(yīng)能夠高效地將廢氣進(jìn)行分解和氧化處理。等離子體化學(xué)反應(yīng)是指利用等離子體激發(fā)分子或原子中的電子，使其處于高能態(tài)，從而引發(fā)一系列的反應(yīng)過(guò)程。等離子體化學(xué)反應(yīng)可以在常溫常壓下進(jìn)行，不需要添加額外的化學(xué)物質(zhì)，具有高效、環(huán)保、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

等離子體源是產(chǎn)生等離子體化學(xué)反應(yīng)所必需的設(shè)備，等離子體廢氣凈化器通常采用非平衡輝光放電等離子體源。這種等離子體源可以產(chǎn)生較高的電子密度和電子能量，從而能夠有效地激發(fā)廢氣中的分子或原子中的電子。非平衡輝光放電等離子源還具有體積小、功耗低、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。

等離子體反應(yīng)器是等離子廢氣凈化器中對(duì)廢氣進(jìn)行分解和氧化處理的核心部件，其主要原理是通過(guò)等離子體化學(xué)反應(yīng)將廢氣分解成無(wú)害物質(zhì)。等離子體反應(yīng)器通常由等離子體源、反應(yīng)室、電極、高壓電源等組成。反應(yīng)室內(nèi)部通常采用不銹鋼材料，在內(nèi)部布置一定數(shù)量的電極，形成等離子體反應(yīng)區(qū)域。